Người thầy "Vi thợ mộc" - GS.TSKH. Nguyễn Phú Thùy của tôi

Tôi còn nhớ mãi bức thư điện tử Thầy Nguyễn Phú Thùy gửi cho tôi về hướng nghiên cứu Vi cơ điện tử (Microelectromechanical systems) lúc tôi đang loay hoay tìm định hướng nghiên cứu trong thời gian trao đổi khoa học tại Đại học Parma, Italy.
Tôi còn nhớ mãi bức thư điện tử Thầy Nguyễn Phú Thùy gửi cho tôi về hướng nghiên cứu Vi cơ điện tử (Microelectromechanical systems) lúc tôi đang loay hoay tìm định hướng nghiên cứu trong thời gian trao đổi khoa học tại Đại học Parma, Italy.
Bức thư của Thầy là chìa khóa giúp tôi bước vào thế giới liên ngành của vật lý, điện tử, cơ học và cả y sinh học của ngành MEMS mà tôi theo đuổi từ đó đến nay.
Tháng 12 năm 2002, tôi về Việt Nam để tham gia nhóm nghiên cứu MEMS của Khoa Công nghệ thuộc Đại học Quốc gia Hà Nội nay là Bộ môn Vi cơ điện tử và Vi hệ thống, Khoa Điện tử - Viễn thông, trường Đại học Công nghệ. MEMS là công nghệ chế tạo các linh kiện kích thước micromet có chức năng điện tử, cơ học, quang học hoặc sinh học, … trên cơ sở kỹ thuật vi chế tạo. Sản phẩm công nghệ MEMS đã được sử dụng rộng rãi trong đời sống xã hội ví dụ như chức năng theo dõi chuyển động, micro định hướng sử dụng linh kiện MEMS đang là chức năng cơ bản của tất cả các điện thoại thông minh. Ngoài ra, linh kiện MEMS được sử dụng phổ biến trong các hệ thống khí tài quân sự, công nghiệp ô tô, máy bay, trong các hệ thống mổ nội soi, mổ tế bào và xét nghiệm, phát hiện bệnh sớm. Để sinh viên dễ dàng hình tượng MEMS là gì và phương pháp chế tạo của nó, Thầy đã rất hóm hỉnh và sâu sắc khi ví Thầy đang là một Giáo sư, Tiến sỹ khoa học Vật lý chuyển sang nghề thợ mộc với vật liệu là phiến silicon thay cho tấm gỗ, công cụ chế tác là hệ thống vi chế tạo với các máy quang khắc, ăn mòn dùng hóa chất, phủ màng mỏng và pha tạp thay thế cho các công cụ như bào, đục, cưa, sơn phủ.
Ngay từ  những ngày đầu mới thành lập, nhóm MEMS đã thu hút được nhiều cán bộ và sinh viên giỏi tham gia nghiên cứu khoa học. Dựa trên thế mạnh về kỹ thuật điện tử và hệ thống nhúng của các thành viên trong nhóm trên nền tảng của ngành Điện tử - Viễn thông và phối hợp với nhóm nghiên cứu về MEMS của Viện Đào tạo Quốc tế về Khoa học Vật liệu ITIMS do PGS.TS. Vũ Ngọc Hùng phụ trách, nhóm MEMS đã tập trung vào các hướng ứng dụng của linh kiện MEMS như vi cảm biến áp suất, vi cảm biến gia tốc và con quay vi cơ. Các hướng nghiên cứu đó đã nhanh chóng đạt được kết quả rất tốt và nhận được Bằng khen của Bộ trưởng Bộ Giáo dục năm 2004, giải “Vì lợi ích cộng đồng” Nhân tài đất Việt năm 2007, giải Ba – Nhân tài đất Việt năm 2008.
Bên cạnh các hợp tác trong nước, Thầy đã đẩy mạnh hợp tác với các nhóm nghiên cứu mạnh về MEMS trên thế giới đồng thời lần lượt cử các cán bộ đi trao đổi hợp tác nghiên cứu và làm nghiên cứu sinh tai nước ngoài. Hiện nay, các cán bộ tham gia nhóm nghiên cứu từ những ngày đầu đã bảo vệ thành công luận án tiến sỹ, hai người đã được phong phó giáo sư trong những năm qua. Kết quả nghiên cứu cũng như đội ngũ cán bộ và các định hướng nghiên cứu của nhóm cho đến hiện nay đã thể hiện tầm nhìn rộng và xa của Thầy. 
Cuối năm 2007, sau khi tôi bảo vệ thành công luận án tiến sỹ, Thầy nói tôi nên về ngay để cùng Thầy và các đồng nghiệp xây dựng bộ môn MEMS đi theo hai định hướng ứng dụng trong công nghiệp và nghiên cứu hàn lâm trong thiết kế linh kiện MEMS. Sau 12 năm kể từ khi thành lập, bộ môn MEMS đã đào tạo được nhiều sinh viên, học viên cao học, nghiên cứu sinh giỏi và có nhiều kết quả nghiên cứu khoa học tốt. Cho đến nay, ngoài các giải thưởng nêu trên, Bộ môn MEMS đã nhận được Bằng độc quyền giải pháp hữu ích số 1018 của Cục Sở hữu trí tuệ, Bộ Khoa học và Công nghệ với tên sáng chế “Hệ thông đo tự động từ xa các thông số của bệnh nhân” theo quyết định số 67086/QĐ-SHTT ngày 26 tháng 11 năm 2012. Kể từ khi thành lập đến nay, Bộ môn MEMS đã có được nhiều kết quả nghiên cứu khoa học tốt với trên 50 bài báo tạp chí quốc tế và trên 100 hội nghị khoa học quốc tế.
Bước sang năm 2008, sức khỏe của Thầy tiến triển không tốt cần nhiều thời gian nghỉ ngơi hơn. Tuy vậy, với tình yêu dành cho khoa học Thầy vẫn định hướng nghiên cứu cho bộ môn, hàng tuần Thầy vẫn đến thảo luận và sửa bài viết cho các cán bộ. Thầy và cô Bình luôn nhiệt tình tham gia các hoạt động chung của Khoa và Nhà trường.
GS.TSKH. Nguyễn Phú Thùy sinh ra và gắn bó cả đời với mảnh đất Hà Nội cùng đầy ắp các kỷ niệm. Mùa thu năm 2010, Thầy cũng háo hức mong chờ để được chứng kiến thời khắc chuyển giao 1000 năm Thăng Long - Hà Nội. Ngày 10 tháng 10 năm 2010, dù sức khỏe lúc đó đã rất yếu, nhưng Thầy vẫn cố gắng theo dõi lễ kỷ niệm thông qua màn hình TV nhỏ tại Bệnh viện Hữu nghị. Sức khỏe của Thầy sa sút nhanh chóng sau lễ kỷ niệm này và Thầy đã đi xa vào sáng sớm ngày 14 tháng 10 năm 2010.
Chiều nay, nhân ngày giỗ lần thứ 4 của Thầy, “chúng con thay mặt cho Bộ môn đến thắp hương lễ Thầy. Chúng con nguyện luôn cố gắng xây dựng Bộ môn và tiếp tục duy trì và đẩy mạnh các định hướng nghiên cứu và giảng dạy của Thầy”.
Hà Nội, ngày 7 tháng 10 năm 2014
(tức ngày mồng 7 tháng 9 âm lịch)
Theo PGS.TS. Chử Đức Trình, Khoa Điện tử Viễn thông - Kỷ yếu "15 năm xây dựng và trưởng thành"